Комбинированная система сверхвысокого вакуума, ионный насос для распыления — комплект титановых сублимационных насосов
2023-11-26
Комбинированная система сверхвысокого вакуума, ионный насос для распыления — комплект титановых сублимационных насосов
Рис. 5-17 Комбинированная система сверхвысокого вакуума: 1- вакуумная камера 2- Задвижка сверхвысокого вакуума 3- Ионный насос для распыления — Группа насосов для сублимации титана 4- Задвижка сверхвысокого вакуума 5- холодная ловушка 6- диффузионный насос 7- передний клапан трубопровода 8- Клапан трубопровода сверхвысокого вакуума 9- выпускной клапан 10- механический вакуумный насос
На рисунке 5-17 показан другой тип комбинированной системы сверхвысокого вакуума. Система подходит для печей вакуумной герметизации, печей для обжига листового тантала и другого оборудования. Основным насосом системы является ионный насос для распыления-группа насосов для сублимации титана. Предельный вакуум в вакуумной камере может достигать 5×10-7 Па. Система оснащена блоком, состоящим из масляного диффузионного насоса и механического насоса, который используется для грубой перекачки и предварительной перекачки в качестве основного насоса и может откачивать большое количество выделяющегося в процессе
Британская компания PVD, машина для нанесения декоративных покрытий, машина для нанесения покрытий на инструменты, машина для нанесения покрытий DLC, оптическая машина для нанесения покрытий, линия вакуумного нанесения покрытий PVD, доступен проект «под ключ». Свяжитесь с нами сейчас, E-mail: iks.pvd@foxmail.com
